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Advances in CMP/Polishing Technologies for the Manufacture of Electronic Devices

168,99 €

inkl. gesetzl. MwSt., Versandkostenfrei


Beschreibung

Produktdetails

Einband

Gebundene Ausgabe

Erscheinungsdatum

01.12.2011

Herausgeber

Toshiro Doi + weitere

Verlag

William Andrew

Seitenzahl

330

Maße (L/B/H)

23,9/15,6/2,5 cm

Gewicht

591 g

Sprache

Englisch

ISBN

978-1-4377-7859-5

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Einband

Gebundene Ausgabe

Erscheinungsdatum

01.12.2011

Herausgeber

Verlag

William Andrew

Seitenzahl

330

Maße (L/B/H)

23,9/15,6/2,5 cm

Gewicht

591 g

Sprache

Englisch

ISBN

978-1-4377-7859-5

EU-Ansprechpartner

Elsevier B.V.
Radarweg 29
1043 NX Amsterdam
NL
productsafety@elsevier.com

Herstelleradresse

Elsevier Science & Technology
London Wall 125
EC2Y 5AS London
GB
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  • Chapter 1: Introduction

    Chapter 2: Device fabrication with a silicon crystal substrate

    Chapter 3: Ultra-precision technology - taking silicon single crystal as an example

    Chapter 4: Applications of ultra-precision CMP in device processes

    Chapter 5: The future of processing technology

    Chapter 6: Progress of the semiconductor and silicon industries

    Chapter 7: Summary