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Band 253

Verfahren zur Konzeption automatischer reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen

Aus der Reihe IPA-IAO - Forschung und Praxis

54,99 €

inkl. gesetzl. MwSt., Versandkostenfrei

Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

08.08.1997

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

174

Maße (L/B/H)

21/14,8/1 cm

Gewicht

236 g

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-540-63447-8

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Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

08.08.1997

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

174

Maße (L/B/H)

21/14,8/1 cm

Gewicht

236 g

Sprache

Deutsch

ISBN

978-3-540-63447-8

Herstelleradresse

Springer-Verlag GmbH
Tiergartenstr. 17
69121 Heidelberg
DE

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  • 1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Definitionen der Reinraumtechnik.- 2.1.1 Reinraum und Reinraumklassen.- 2.1.2 Partikelemission und -kontamination.- 2.1.3 Partikelmeßtechnik.- 2.1.4 Reinraumtauglichkeit.- 2.2 Ausgangssituation.- 2.2.1 Branchen und Anwendungsgebiete der Reinraumtechnik.- 2.2.2 Typen reinraumtauglicher Fertigungsanlagen.- 2.2.3 Problemfelder und Hilfsmittel bei der Entwicklung reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen.- 2.2.4 Vorgehen bei der Entwicklung reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen.- 2.3 Analyse von Verfahren und Methoden zur Entwicklung reinraumtauglicher Fertigungsanlagen und -zellen.- 3 Entwicklungsschwerpunkte.- 3.1 Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten.- 3.2 Anforderungen an das Verfahren.- 3.2.1 Übergeordnete Anforderungen an das Verfahren.- 3.2.2 Anforderungen an die Methoden.- 3.2.3 Anforderungen an die Hilfsmittel.- 4 Konzeption der Methoden und Hilfsmittel des Verfahrens.- 4.1 Konzeption der Methoden.- 4.2 Konzeption der Hilfsmittel.- 4.2.1 Konzeption des Hilfsmittels “Bildung und Optimierung von Funktionsstrukturen”.- 4.2.2 Konzeption des Hilfsmittels “Partikelemissionsverhalten von Materialpaarungen”.- 4.2.3 Konzeption des Hilfsmittels “Materialflußautomatisierung sowie materialflußbezogene Strukturierung und Integration von Fertigungsanlagen und -zelten”.- 4.2.4 Konzeption des Hilfsmittels “Nicht-experimentelle Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Fertigungsanlagen”.- 4.3 Erarbeitung eines Prüfverfahrens zur Untersuchung des Partikelemissionsverhaltens ungeschmierter gleitreibungsbeanspruchter Materialpaarungen.- 4.3.1 Ableitung der Prüfbedingungen und Anforderungen an den Prüfstand.- 4.3.2 Entwicklung des Prüfstands und einer geeigneten Prüfvorgehensweise.- 4.3.3 Durchführung von Vorversuchen mit Materialpaarungen für ungeschmierte Gleitreibung.- 5 Ableitung von Methoden zur Anlagenkonzeption.- 5.1 Methode zur funktionellen Analyse.- 5.1.1 Ableitung der Funktionen für automatische reinraumtaugliche Fertigungsanlagen und -zellen.- 5.1.1.1 Normierte Basisfunktionen.- 5.1.1.2 Attribute von Funktionen.- 5.1.2 Einzelschritte der funktionellen Analyse.- 5.1.3 Struktur der grundsätzlichen Vorgehensweise.- 5.1.4 Anwendung der grundsätzlichen Vorgehensweise.- 5.2 Methode zur konzeptionellen Anlagengestaltung.- 5.2.1 Ableitung der Module für automatische reinraumtaugliche Fertigungsanlagen und -zellen.- 5.2.1.1 Modularten und -struktur.- 5.2.1.2 Attribute von Modulen.- 5.2.2 Einzelschritte der konzeptionellen Anlagengestaltung.- 5.2.3 Struktur der grundsätzlichen Vorgehensweise.- 5.2.4 Anwendung der grundsätzlichen Vorgehensweise.- 6 Erarbeitung von Hilfsmitteln zur Anlagenkonzeption.- 6.1 Bildung und Optimierung von Funktionsstrukturen.- 6.1.1 Relevante Betrachtungsbereiche und Einflußfaktoren.- 6.1.2 Bildung von Funktionssequenzen.- 6.1.3 Optimierung von Funktionsstrukturen.- 6.2 Partikelemissionsverhalten von Materialpaarungen.- 6.2.1 Zeitliches Verhalten der Partikelemission.- 6.2.2 Abhängigkeit der Gesamtpartikelzahl und der Partikelgrößenklassen von den Beanspruchungsbedingungen.- 6.2.3 Größenanteile der emittierten Partikeln an der Gesamtpartikelzahl.- 6.2.4 Vergleich der Gesamtpartikelzahlen bei unterschiedlichen Beanspruchungsbedingungen.- 6.2.5 Gesamtbeurteilung des Partikelemissionsverhaltens von Materialpaarungen.- 6.3 Materialflußautomatisierung sowie materialflußbezogene Strukturierung und Integration von Fertigungsanlagen und -zellen.- 6.3.1 Systematik der Leitlinien.- 6.3.2 Übergeordnete Leitlinien zur Konzeption automatischer Fertigungsanlagen und -zellen.- 6.3.3 Leitlinien zur räumlichen Anordnung und Automatisierung von Fertigungsanlagen und -modulen.- 6.3.4 Leitlinien zur Auswahl und Gestaltung von Materialflußsystemen.- 6.4 Nicht-experimentelle Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Fertigungsanlagen.- 6.4.1 Ableitung einer Bewertungssystematik.- 6.4.2 Kriterien zur Bewertung der Funktionsstruktur.- 6.4.2.1 Kriterien zur Bewertung von Funktionsanzahl und Materialflußfunktionen.- 6.4.2.2 Kriterien zur Bewertung des strukturellen Aufbaus.- 6.4.3 Kriterien zur Bewertung der Modulstruktur.- 7 Anwendung des Verfahrens am Beispiel der Konzeption einer automatischen Fertigungszelle zur Waferkontaminationsmessung.- 7.1 Aufstellen des Anforderungskataloges.- 7.2 Durchführung der funktionellen Analyse.- 7.3 Durchführung der konzeptionellen Gestaltung.- 7.4 Diskussion der Anwendungsmöglichkeiten und Ergebnisse des entwickelten Verfahrens.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 9 Literaturverzeichnis.