Produktbild: Micromachined Ultrasound-Based Proximity Sensors
Band 4 - 13%

Micromachined Ultrasound-Based Proximity Sensors

Aus der Reihe Microsystems
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92,99 € UVP 106,99 €

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Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

08.10.2012

Verlag

Springer Us

Seitenzahl

121

Maße (L/B/H)

23,5/15,5/0,8 cm

Gewicht

225 g

Auflage

Softcover reprint of the original 1st ed. 1999

Sprache

Englisch

ISBN

978-1-4613-7269-1

Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

08.10.2012

Verlag

Springer Us

Seitenzahl

121

Maße (L/B/H)

23,5/15,5/0,8 cm

Gewicht

225 g

Auflage

Softcover reprint of the original 1st ed. 1999

Sprache

Englisch

ISBN

978-1-4613-7269-1

Herstelleradresse

Springer-Verlag GmbH
Tiergartenstr. 17
69121 Heidelberg
DE

Email: ProductSafety@springernature.com

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  • 1 Introduction.- 1.1 State of the Art of Ultrasound Proximity Sensors.- 1.2 Scope of this Thesis.- 1.3 Silicon Microsensors.- 1.4 Summary of Practical Results.- 2 Design Considerations For Silicon Resonators.- 2.1 Resonant Behavior of Microstructures.- 2.2 Excitation and Detection Principles.- 2.3 Sound Generation.- 3 Resonator Fabrication.- 3.1 Post IC-Fabrication.- 3.2 Silicon N-Well and Epi Membranes.- 4 Resonator Characterization.- 4.1 Membrane Characteristics.- 4.2 Mode Shapes of Membrane Resonator.- 4.3 Generation of Ultrasound.- 4.4 Sound Pressure Optimization of Resonator.- 4.5 Comparison between N-Well and Epi Membranes.- 4.6 Long Term Stability.- 5 Packaging of Transducers.- 5.1 Packaging Demands.- 5.2 Mounting of Transducers.- 5.3 Sound Emission from Front Side of Membrane.- 5.4 Sound Emission from Rear Side of Membrane.- 6 Ultrasound Barrier.- 6.1 Operation Principle.- 6.2 Packaged Prototype.- 7 Proximity Sensor.- 7.1 Amplitude Measurement with Two Transducers.- 7.2 Amplitude Measurement with One Transducer.- 7.3 Phase Measurement.- 7.4 Comparison between the Different Measurement Methods.- 8 Conclusion and Outlook.- 8.1 Conclusion.- 8.2 Outlook.