Produktbild: Modeling of Chemical Vapor Deposition of Tungsten Films
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Modeling of Chemical Vapor Deposition of Tungsten Films

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Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

20.11.2013

Verlag

Springer Basel

Seitenzahl

139

Maße (L/B/H)

22,9/15,2/0,8 cm

Gewicht

215 g

Auflage

Softcover reprint of the original 1st ed. 1993

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-0348-7743-5

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Taschenbuch

Erscheinungsdatum

20.11.2013

Verlag

Springer Basel

Seitenzahl

139

Maße (L/B/H)

22,9/15,2/0,8 cm

Gewicht

215 g

Auflage

Softcover reprint of the original 1st ed. 1993

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-0348-7743-5

Herstelleradresse

Springer-Verlag GmbH
Tiergartenstr. 17
69121 Heidelberg
DE

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  • Principal Symbols.- 1 Introduction.- 2 Mathematical models for chemical vapor deposition.- 3 Thermal modeling.- 4 Blanket tungsten deposition.- 5 Selective tungsten deposition.- 6 Conclusions.