Resonant MEMS Fundamentals, Implementation, and Application
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Produktdetails
Format
Kopierschutz
Ja
Family Sharing
Nein
Text-to-Speech
Nein
Erscheinungsdatum
28.04.2015
Herausgeber
Oliver Brand + weitereVerlag
Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaASeitenzahl
512 (Printausgabe)
Dateigröße
8115 KB
Auflage
1. Auflage
Sprache
Englisch
EAN
9783527676361
The book covers the principles, modeling and implementation as well as applications of resonant MEMS from a unified viewpoint. It starts out with the fundamental equations and phenomena that govern the behavior of resonant MEMS and then goes on to provide a detailed overview of their implementation in capacitive, piezoelectric, thermal and organic devices, complemented by chapters addressing the packaging of the devices and their stability. The last part of the book is devoted to the latest applications of resonant MEMS, such as inertial, chemical and biosensors, fluid properties sensors, timing devices and energy harvesting systems.
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