Thermoelektrischer Transport und Struktureigenschaften von dünnen Sb2Te3-Schichten bei der Prozessvariation in der Atomlagenabscheidung
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Sprache:Deutsch
34,99 €
inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
30.08.2017
Abbildungen
mit 55 Abbildungen
Verlag
Diplomica Verlag GmbHSeitenzahl
84
Maße (L/B/H)
22/15,5/0,6 cm
Gewicht
148 g
Auflage
1. Auflage
Sprache
Deutsch
ISBN
978-3-96146-532-3
Die im Rahmen dieser Studie untersuchten nanoskaligen Sb2Te3-Schichten (Dünnfilme) wurden mittels der Atomlagenabscheidung (ALD) hergestellt, welche eine homogene und konforme Abscheidung einzelner Atomlagen erlaubt. Beschrieben wird der Einfluss der Prozessparameter der ALD auf die Struktur, die Morphologie und die thermoelektrischen Transporteigenschaften der Sb2Te3-Schichten. Eine Variation der Prozesszeiten beeinflusst das Wachstum der nanoskaligen Schichten hinsichtlich Kristallitgröße und Oberflächenrauheit. Die thermoelektrische Charakterisierung umfasst die kombinierte Messung des Hall-Koeffizienten, des Seebeck-Koeffizienten und der elektrischen Leitfähigkeit.
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