Produktbild: Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology
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Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology

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Beschreibung

Produktdetails

Einband

Gebundene Ausgabe

Erscheinungsdatum

30.04.2009

Abbildungen

XXIV, 422 illus., schwarz-weiss Illustrationen

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

732

Maße (L/B/H)

16,2/24,3/5 cm

Gewicht

1216 g

Auflage

2009

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-540-85848-5

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Erscheinungsdatum

30.04.2009

Abbildungen

XXIV, 422 illus., schwarz-weiss Illustrationen

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

732

Maße (L/B/H)

16,2/24,3/5 cm

Gewicht

1216 g

Auflage

2009

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-540-85848-5

Herstelleradresse

Springer Nature Customer Service Center GmbH
Europaplatz 3
69115 Heidelberg
DE
ProductSafety@springernature.com

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  • Collisions and cross sections.- The plasma.- DC discharges.- High-frequency discharges I.- High-frequency discharges II.- High-frequency discharges III.- Ion beam systems.- Plasma diagnostics.- Plasma deposition processes.- Plasma etch processes.- Etch Mechanisms.- Outlook.- Advanced Topics.