• Produktbild: Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology
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Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology

197,99 €

inkl. gesetzl. MwSt., Versandkostenfrei


Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

19.10.2010

Abbildungen

XXIV, 422 illus., schwarz-weiss Illustrationen

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

732

Maße (L/B/H)

23,5/15,5/4,1 cm

Gewicht

1124 g

Auflage

Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2009

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-642-09939-7

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Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

19.10.2010

Abbildungen

XXIV, 422 illus., schwarz-weiss Illustrationen

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

732

Maße (L/B/H)

23,5/15,5/4,1 cm

Gewicht

1124 g

Auflage

Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2009

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-642-09939-7

Herstelleradresse

Springer-Verlag KG
Sachsenplatz 4-6
1201 Wien
AT

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  • Collisions and cross sections.- The plasma.- DC discharges.- High-frequency discharges I.- High-frequency discharges II.- High-frequency discharges III.- Ion beam systems.- Plasma diagnostics.- Plasma deposition processes.- Plasma etch processes.- Etch Mechanisms.- Outlook.- Advanced Topics.