Cmos - Mems
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inkl. gesetzl. MwSt.Beschreibung
Produktdetails
Format
Kopierschutz
Ja
Family Sharing
Nein
Text-to-Speech
Nein
Erscheinungsdatum
26.03.2013
Herausgeber
Henry Baltes + weitereVerlag
Wiley-VCHSeitenzahl
608 (Printausgabe)
Dateigröße
54975 KB
Auflage
1. Auflage
Sprache
Englisch
EAN
9783527675067
MEMS is covered from all angles.
The book introduces readers to this fi eld and takes them from fabrication technologies and material charaterization aspects to the actual applications of CMOS-MEMS - a wide range of miniaturized physical, chemical and biological sensors and RF systems. Vital knowledge on circuit and system integration issues concludes this in-depth treatise, illustrating the advantages of combining CMOS and MEMS in the first
place, rather than having a hybrid solution.
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