Enabling Technology for MEMS and Nanodevices Advanced Micro and Nanosystems
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Form:Einzelkauf Download
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Sprache:Englisch
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Verlag:Wiley-VCH
79,99 €
inkl. gesetzl. MwSt.Beschreibung
Produktdetails
Format
Kopierschutz
Ja
Family Sharing
Nein
Text-to-Speech
Nein
Erscheinungsdatum
27.03.2013
Herausgeber
Henry Baltes + weitereVerlag
Wiley-VCHSeitenzahl
439 (Printausgabe)
Dateigröße
51704 KB
Auflage
1. Auflage
Sprache
Englisch
EAN
9783527675043
processing. An insider's view of industrial MEMS commercialization is followed by chapters on capacitive interfaces for MEMS, packaging issues of micro- and nanosystems, MEMS contributions to high frequency integrated resonators and filters, and the uses of MEMS in mass
data storage and electrochemical imaging by means of scanning micro- and nanoprobes.
The second section on nanodevices first tackles the emerging topic of nanofluidics with a contribution each on simulation tools and on devices and uses, followed by another two on nanosensors featuring CNT sensors and CMOS-based DNA sensor arrays, respectively.
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